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光刻機

我司使用的鐳射機是屬於多功能雷射蝕刻機,利用雷射的高脈衝能量作用在ITO、納米銀、導電銀漿等資料上,使其直接汽化,達到蝕刻作用。
 
優勢如下:
1.設備整機為自主研發,使用壽命長,工作穩定。
2.重複性加工精度高,速度快。加工精度小於0.005mm。
3.雷射蝕刻線較細,可達0.01mm。
4.雷射蝕刻無需任何化學藥劑,不會對環境產生任何污染,不產生任何异味。
5.雷射蝕刻縮短制程工藝,pattern一次成型,减少制程不良。
6.多鐳射頭雙面同時加工,對比單頭雷射蝕刻機,優勢明顯。
7.加工範圍較大,GG項目加工範圍達23.8寸,FF項目加工範圍達55寸。
8.自動化集成度高,操作簡單,工作需求人力較少。
9.適用於GG、FF、F1、G1、G2、F2結構的pattern蝕刻。


雙面同時光刻


大片狀光刻


小片狀光刻

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