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光刻机
我司使用的激光机是属于多功能激光蚀刻机, 利用激光的高脉冲能量作用在 ITO、纳米银、导电银浆等材料上,使其直接汽化,达到蚀刻作用。
优势如下:
1.设备整机为自主研发设备,使用寿命长,工作稳定。
2.重复性加工精度高,速度快。加工精度小于0.005mm。
3.激光蚀刻线较细,可达0.01mm。
4.激光蚀刻无需任何化学药剂,不会对环境产生任何污染,不产生任何异味。
5.激光蚀刻缩短制程工艺,pattern一次成型,减少制程不良。
6.多激光头双面同时加工,对比单头激光蚀刻机,优势明显。
7.加工范围较大,GG项目加工范围达23.8寸,FF项目加工范围达55寸。
8.自动化集成度高,操作简单,作业需求人力较少。
9.适用于GG、FF、F1、G1、G2、F2结构的pattern蚀刻。
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小片状光刻
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